主题：【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之
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蚀刻，应该是用光刻后的过程了，实际上，整个流程里面，每一步都是很关键的技术。
光刻胶的材质和涂刷，很关键。
光刻musk的制作，很关键
光刻工艺，很关键
光刻好的蚀刻，很关键
能把这些全都搞定，那就是整个一个体系的提高了。
现在在蚀刻机上有了突破，那是很好的事情。
千里之行算是始于足下了。
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🙂这些好像技术上还不成熟 江淮客 字74 2009-03-04 21:48:15
🙂我估计光刻也就这样了。 西潜1号 字163 2009-03-04 19:38:04
🙂山寨最后还是要招安的 1 司徒彼 字86 2009-03-04 08:01:13
🙂这个好像不是光刻机吧？
🙂有宝 大龙猫 字88 2009-03-03 21:48:30
🙂也说说Fab吧 7 时常数 字783 2009-03-03 12:44:37