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主题:芯片业的几条小消息 -- dfindy

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家园 集成电路供应链项目建成 国产20nm技术研发线预计9月投产

这是去年的新闻

http://www.bepurestandards.com/news_show/7496a74b-00ad-4ab3-9cdf-85ae7cd1c779/%E8%A1%8C%E4%B8%9A%E8%B5%84%E8%AE%AF

  2月20日,集成电路供应链及先导技术产业创新中心项目进行了环评公示,最终由北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司建设本项目。根据公告可知,本项目总投资51.37亿元,建筑面积约25385.1平方米。

  公告显示,本项目产品定位是用于先进图像传感器、65nm~28nm及以下逻辑技术研发线的建设,达到或接近国际同类产品的技术指标;项目特点是建成后,可为12英寸晶圆生产线提供厂房及动力配套设备,并为多个工艺验证及技术创新研发平台提供场地及设施;工艺特点是新建项目将建设集成电路国产验证中试线,产能为每月约3000片12英寸晶圆,工艺制程以65nm~28nm及以下为主。

  此外,本项目严格遵循了相关环境保护法规:对于离子注入工序中使用的砷化氢,本项目通过优化废气收集系统,对其进行单独收集处理,避免与其他废气混合排放;动力设施中空气压缩机组、中央空调机组广泛采用热回收技术,利用制冷机冷凝器冷却水余热生产热水,既消除了其他加热方式的综合能耗,也减少了冷却塔运行负荷。

项目预计投产时间为2022年9月,相信本项目能满足不断增长的市场需求,提高规模生产效益,提升产业技术水平,同时更好地服务于中国本土设计企业,并为国内的半导体装备、材料及工艺开发提供先进支撑平台。

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