五千年(敝帚自珍)

主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

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家园 对了,就是plasma etcher

plasma的刻蚀精度要看Aspect ratio,还有离子密度。

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有趣有益,互惠互利;开阔视野,博采众长。
虚拟的网络,真实的人。天南地北客,相逢皆朋友

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