主题:【原创】多晶硅—单晶硅 -- 大地窝铺
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大部分IC只使用直拉单晶表明上很薄的一层。切片后往往用其他方法吸杂去错位,在表面再次提纯一薄层非常非常高纯度的无瑕疵表面。所以可以容忍整个单晶的杂质稍高。
方法是在切片的单晶反面喷砂,反面打毛以后加热退火。另一面的杂质
在加热状态下会被背面的打磨层吸附。(因为打毛以后结构松动,比完整
晶体能吸收更多杂质)。这样实际使用的那一薄层的纯度远高于整个单晶。
而功率器件往往要使用整个单晶,深结或贯通两面。所以整个晶体都要求
高纯度无瑕疵。而且功率器件往往要求高掺杂,所以这都要求用区熔单晶。
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🙂【原创】多晶硅—单晶硅(续4—区熔单晶硅) 29 大地窝铺 字2049 2009-12-31 21:13:45
🙂【原创】多晶硅—单晶硅(续3) 34 大地窝铺 字2308 2009-12-24 03:50:46
😜我过去用的是区熔的 益者三友 字0 2009-12-30 19:18:50
🙂刚才正要说这玩意不就是老爸那做的嘛 棒棒糖 字420 2009-12-24 22:16:31
🙂现在还是薛厂长吗? 1 大地窝铺 字133 2009-12-24 22:22:26