五千年(敝帚自珍)

主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

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家园 华为那个只是design house

前身是做asic设计的。design house 好弄,fab难搞。

家园 aokrayd兄难得发这样长文啊,看来也是圈内人士啊。
smic
家园 谢谢,如果上海是RD,新加坡主要做什么?

他们和CHARTER的联系应该很多吧?

家园 据我所知AMEC总部在上海

大学同学在那里当SVP,管CVD,去年卖给SMIC两台后就给AMAT告了。这回跟TSMC是我第二次听说他们卖出东西。这个也算不上什么抄了,毕竟这帮人03年就离开AMAT去搞这摊子了。当初AMAT不管他们,等他们一卖出去才行动,本来就是为了市场目的的。过去这些年半导体技术上没什么革命性的突破,5~6年前的东西按roadmap外延一下也就行了。

支持
家园 不光是生产线的问题

当初台湾、韩国人毕竟是在美国公司里面都做到高层了,对于大规模半导体生产了解了才回去做的。实验室里跟线上差别是很大的。

家园 这是老黄历了

Karl Suss在aligner时代是很强,但现在是stepper的天下,ASML靠浸水占了70%以上的市场。ASML目前最重要的两家供货商是Zeiss和Cymer。

家园 中芯是国内最先进的

有IBM license 的45nm 逻辑工艺在研发当中。

家园 sales and support

在新加坡。

http://www.amec-inc.com/about/Corporate_Fact_Sheet.php

楼下的说总部在中国,我不清楚。不过今年2月25日的半导体国际上的报道还称,

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. (AMEC, Singapore) will extend its etch product portfolio into the deep reactive ion etch (DRIE) systems required for 3-D interconnects,

......

With its corporate headquarters in Singapore, and R&D and manufacturing in Shanghai, China, AMEC has its focus on Asia,

另外,amec是在开曼群岛注册的。呵呵。

家园 3-D interconnects

难道是要做TSV吗?这个到确实可以是个方向。技术门槛相对会比较低。

amec是在开曼群岛注册的

让人感觉这个公司好象不是很SERIOUS,呵呵

多谢老兄的信息

家园 感觉是不是就是把AMAT的设备这一块弄来了

有人说AMAT比较MEAN,不知道是不是因此人老外跳,呵呵

家园 应该要做的。

3D现在这么热。

摘自同一篇报道里的话:

......said AMEC CEO Gerald Yin. “Our key customers are very aggressive about 3-D devices with through-silicon vias. We want to adapt our technology to etching the deep trenches. I see through-silicon etching happening for us this year or next.”

家园 注册这事都那样

SMIC好像也是在那些小岛注册的,主要是为了税收以及外资优惠方面的便利。另外我看到的中文消息都是说总部在上海,跟我同学聊天时她也从来没提过AMEC跟新加坡的关系。当然我也没专门问这个问题。

家园 难道你不知道中国是一个代工大国吗?镜头也一样

尼康和佳能和zeiss的镜头,很多是凤凰代工的。

家园 国产光刻机

上海微电子装备有限公司的光刻机简介:

SSA600/10型步进扫描投影光刻机用于集成电路前道工艺,可满足用户100nm工艺节点的需求。该设备采用高性能193nmArF准分子激光光源,结合大数值孔径投影物镜和离轴照明技术,可实现高分辨率和高工艺稳定性;可变数值孔径和多种照明模式可满足不同光刻分辨率和焦深要求;大曝光视场、快速对准技术和高同步扫描速度,可实现高生产率、高性能掩模对准和硅片对准技术以及高精度工件台掩模台控制精度,可满足高套刻精度要求。

SSA600/10型步进扫描投影光刻机具有以下优良特性:

高性能193nm ArF准分子激光光源

高性能投影物镜系统,最大数值孔径0.75

支持离轴照明等多种分辨率增强技术,最高分辨率100nm

高速全场对准和高速同步扫描曝光实现高产率

高精度掩模对准和硅片对准系统,对不同硅片工艺具有良好的工艺适应性

高精度六自由度掩模台/工件台定位控制系统

高性能、高可靠性、低生产成本(COO)

家园 此言正合我意

什么狗屁专利,中国人不鸟它

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