主题：【原创】雪夜妖谈-引子 -- 夜如何其
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DUV 光刻机用的光波长193nm，这波长水的折射率 1.44，水中波长134nm 。
28 nm 远小于波长一半，而且要清晰边缘。。。怎么可能一次曝光。
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压缩 24 层
🙂这个换光源的说法怎么从图上看出来的？ 1 真理 字0 2024-02-25 20:11:18
🙂今天确认了，今天我的认识有一点错了，华为改的是ASML 24 foursea 字454 2023-12-10 10:20:45
🙂28nm和7nm光刻区别主要就是一次曝光和四次曝光吧 11 大山猫 字85 2023-09-07 12:32:56
🙂28 nm 也不可能是一次曝光吧
🙂28nm也是标28nm 6 大山猫 字23 2023-09-08 17:44:07
🙂不是 10 南门桥 字439 2023-09-07 21:42:08