主题：上海微电子预计在年底向市场交付国产第一台28nm光刻机设备 -- dudu8972

8月1日，据新华网援引《证券日报》消息称，上海微电子在28nm浸没式光刻机研发上取得重大突破！预计在年底向市场交付国产第一台28nm光刻机设备！

据悉，上海微电子在之前90nm的基础上，即将量产28nm immersion式光刻机，在2023年交付国产第一台SSA/800-10W光刻机设备。

immersion式光刻机就是浸没式光刻机，采用ArF光源，也就是193nm波长的光源，这是第四代光刻机，这也标志着中国和ASML在光刻机上仅有1代的差距，上海微电子凭借此项制程工艺也将会直接赶超日本佳能、尼康厂商，成为继荷兰ASML后，全球第二先进的光刻机厂商巨头。

据悉，上海微电子使用的是第四代光刻机技术，通过多重曝光可实现7nm 但是为了追求更高的图形密度和更小的工艺节点，在普通的涂胶-曝光-显影-刻蚀工艺的基础上开发了多重曝光技术，如LELE（litho-etch-litho-etch）、SADP（self aligned double patterning）。

LELE技术将给定的图案分为两个密度较小的部分，通过蚀刻硬掩模，将第一层图案转移到其下的硬掩模上，最终在衬底上得到两倍图案密度的图形；SADP技术通过沉积和刻蚀工艺在心轴（mandrel）侧壁上形成间隔物，经由额外的刻蚀步骤移除心轴，使用间隔物定义最终结构，使得特征密度增加了一倍。将SADP加倍可以得到四重图案化工艺（SAQP）,使得193nm浸润式光刻可以实现~10nm的分辨率。

理论上是可以实现7nm节点工艺制程，但是会使得需要的光罩数量非常多，工艺复杂，量产难度大。应当指出，即使导入EUV，也并不是所有流程均由EUV承担，主要是应用在MOS器件关键层，其它对关键尺寸要求不高的步骤将仍由普通光刻机承担。

中国第四代浸没式光刻机有望交付 而此次上海微电子研发的SSA/800-10W光刻机设备正是属于第四代浸没式光刻机。

单次曝光就只可以直接生产28nm芯片，如果使用套刻精度在1.9nm左右的工作台，在多次曝光下能够实现11nm制程工艺的芯片生产。如果改用套刻精度更优的华卓精科工作台（1.7nm），在多重曝光下更是能够实现7nm制程工艺的芯片生产。

一旦可以制造7nm芯片，就可以解决半导体产业大部分的需求，因为芯片制造6大设备，扩散炉、刻蚀机，离子注入设备、薄膜生长设备、抛光机和清洗剂，中国目前都处在主流水平，其中刻蚀机更是达到了5nm，可以完成7nm芯片的制造需求。

而目前光刻机材料如电子特气、光刻胶等也在加速国产化，南大光电目前已经可以生产出7nm的光刻胶，当然，在EDA工具、IC设计上中国依然和国外有较大差距。

有数据显示，当前我国在清洗、热处理、去胶设备的国产化率分别达到34％、40％、90％，在涂胶显影、刻蚀、真空镀膜的国产化率达到10-30％，在原子层沉积、光刻、量测检测、离子注入的国产化率暂时低于5％。

值得一提的是，华为也在光刻机技术上积极投入，并取得了不俗成果，比如去年底就披露了名为“反射镜、光刻装置及其控制方法”的专利，涉及到EUV光刻关键技术。

这两年被各种各样的假新闻稿整麻木了，各种国产光刻机，打破西方封锁什么的，到最后都不了了之。

真心希望这次是真的。只要核心零部件实现国产化，哪怕再低一代，也值得喝彩。

突破可以在单点上实现，但是工程运用必须把所有单点都走通了，让全系统都能运行才行。高技术竞争残酷的地方就是如此，差一点就等于零。

估计是狼来了听多了？

关键技术一突破，美国人知道制裁不住了也只能放手

所以未必需要全流程全节点100%国产化，等继续观察确认

对这种复杂设备类似复杂的软件，只有在应用过程中才能不断发现问题修Bug，得高MTBF等指标。

建议多看几遍本河的[芯片败局]一文。

看了该文就知道：

1，上海微电子曾经大肆宣传的193纳米产品只是在验收的时候开过一次机，后来根本没有开机过

2，以长春光机所为代表的院士们只关心立项和验收，至于真正产业化以后产生多少问题他们根本不管

3，号称打入台积电产线的7纳米刻蚀机离先进水平主要指标刻蚀的宽深比差一倍以上，只能用于掩膜和metal而不能直接应用于硅片上。

总之，假大空盛行，科技体制没有改革，某些学霸院士霸占学术资源攫取中国科研基金的院士没被处罚以前，中国半导体设备那是一点门都没有。

华为自建芯片厂已基本搞定14nm从eda到流片的各个环节。更高制程也不需要担心。

华为的鸿蒙系统next版本已流出，确认不再支持安卓apk，即将走上独立发展的道路。

明年将是华为王者归来的一年，也将是中美关系加速恶化的一年。各位要对历史的惊涛骇浪做好心理准备。

你不去警告一下？

丰田汽车公司中国本部长上田达郎表示：

“中国汽车市场正在以史无前例的速度发展，电动化、智能化已经成为了新能源汽车产业的发展方向。在此背景下，丰田中国和广汽丰田共同决定，与自动驾驶领域的重要合作伙伴小马智行成立合资公司，率先在中国推进 Robotaxi 的商业化落地。这既是丰田进行‘中国式继承与进化’的重要举措，也是与小马智行携手迈出的事业合作的新一步，期待合资公司提供的 Robotaxi 早日上路运营，为广大市民提供安全、安心的移动出行服务，助力实现碳中和社会以及‘Mobility for All’的愿景。”

一个企业在一个方向投入更多的研发资源，自然在这个方向上技术比别人强。

你专注于其他的研发方向，或者由于企业战略，投入更迟，更少，这个时候买别人的技术当然是更好的选择。

不要过分解读。

互相尊重，认真研发的企业都值得尊重，都有值得学习的地方。

知乎上多了一个梗，因而取消了匿名发帖机制，各种重大创新不见了。

找到中国合作伙伴搞电动车。

说中国科学界“假大空”必然是真知灼见的。

天下武功，唯“厚”不破。