主题：【整理】一瓢凉水 -- 大校

作者：采沙

捋了一下过去几年的相关报道，清华SSMB-EUV光源的故事线，大致如下：

1、2017年4月，清华SSMB团队开始进行SSMB原理验证实验的理论分析和数值模拟。

2、2017年7月，唐传祥团队牵头成立国际SSMB研究组，联合中、德、美等国家的科研人员，推动包括SSMB原理验证实验在内的各项研究。

3、2021年2月24日，国际SSMB研究组完成了首个原理验证实验，在《Nature》上发了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文。

注意，是“原理验证实验”！

还需要注意的是，从2017年开始，到2021年发表论文，清华国际研究团队一直是在德国联邦物理技术研究院位于柏林的计量光源MLS储存环上做实验；论文作者有13位，7位是国际合作者。

4、2021年2月25日，《每日经济新闻》发了一篇热情洋溢、标题巨长的报道：《破解“卡脖子”难题！清华团队新成果在《自然》发表：有望为EUV光刻机提供新技术路线》

在这篇报道中，有三个信息值得注意。

其一，唐传祥告诉记者：“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源，这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。”。

注意，说的是“潜在应用”。

其二，“基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。”

注意，说的是“有望”、“潜力”和“解决思路”。

其三，“目前，清华正积极支持和推动SSMB EUV光源在国家层面的立项工作。清华SSMB研究组已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书，申报“十四五”国家重大科技基础设施。”

注意，这是“SSMB EUV光源”这个概念第一次露面。

2021年3月14日，第十四个五年规划和2035年远景目标纲发布，高能同步辐射光源属于应用支撑型国家重大科技基础设施。

但是呢，北京和河北的科技创新“十四五”规划，都没有出现SSMB光源科学装置建设项目。

大概率，清华SSMB-EUV光源项目立项未遂。

5、2022年12月6日，雄安新区和清华大学签了《关于共同支持“稳态微聚束(SSMB)极紫外光源设施”项目的合作意向书》。

6、2023年1月12日，清华SSMB光源设施项目团队赴雄安新区考察洽谈落地事宜。

7、2023年2月23日，SSMB项目初步确定选址地点。

8、2023年3月20日，清华大学副校长曾嵘实地考察了SSMB项目选址地点。

截至此时，清华SSMB EUV光源一直没成为热议话题。

华为发布Mate 60手机之初，没人翻清华SSMB EUV光源的牌子。

哪怕麒麟9000s被热议之初，还是没人翻清华SSMB EUV光源的牌子。

直到有人把一张谈论清华SSMB EUV光源项目的聊天截图发到网上，各路妖魔鬼怪才嗨起来。

SSMB国际研究组2021年的论文被翻了出来，一个“大型EUV光刻机工厂”也被手搓了出来，连“超车”都喊出来了。

这事，透着诡异。

如果清华SSMB EUV光源真那么神奇，怎么可能不是十四五的国家重大科学设施？！

如果清华SSMB EUV光源真那么神奇，怎么可能拖到2023年3月20日还在考察选址？！

几点想法：

1、要么是有人别有用心地翻炒旧闻，嘎流量，薅平台的羊毛；要么是有人在给SSMB光源项目造势，要政策，薅雄安的羊毛。

如果是前一种，毫无意外，现在吃爱国饭的人太多，又是说光刻者必火。

如果谁后一种，也不意外，科学家也是人，谁都希望有个自己的山头。王贻芳不就一直呼吁建粒子对撞机嘛。

2、网友们希望中国尽快实现光刻自主的愿望是好的，但是，不要因此被别有用心的人牵着鼻子走。

即便不懂科学，总该懂语文。

“原理验证”只是实验，“潜在应用”只是可能，“潜力”不是能力，“解决思路”不是解决方案。

一个正吃奶的孩子，打不了男足的比赛。

3、怀柔的HEPS，好像是2009年就提出来概念，然后是各种方案设计、方案论证、工程论证、工艺预研，2016年列入十四五规划，然后，选址好像都换了两三个（光源项目怕震动），2019年动工，2025年才能交付。

雄安的SSMB-EUV，不管它是SSMB，还是SSMB-EUV，十年之内，恐怕连一束光也看不到。

不然行外人还是保留一分为好。

都是一无所知的无知。

芯片可以在地下室搞，装上门禁不许生人进入。

但这个上千亩地的大工程，不可能盖起来了，没人看见。高空看，加速器特征还是挺明显的。

中芯国际2020年年底试产成功的MinerVa Semiconducto就是N+1制程，哪来的最好不过是14nm？

只是各路人马真真假假各抱心思的说法吧。对芯片比较有信心的项立刚直接否认，说加速器方案可能性不大，从科学验证到商业应用（他一直对高校有看法，认为高校老师往往脱离实际，只是为发论文而已。只有企业是要解决问题的，说的做的比较实在），路还远着呢。所以，算不上凉水。因为，真在其中的人知道内情，只是不说而已。

做7NM芯片基本上突破美国的限制还是可能的。

至于宣传上如此低调，应该是还没有100%全部国产化，至于怎么突破美国限制，方法应该很多种，真真假假的，不能让美国人猜着就成了。

芯片问题只是工艺上的事，只要大家分头去想办法，再加上时间，突破是肯定的，这是其一，再者芯片只是作为最终商品的零部件存在，美国人不卖给中国是可以的，但是不能让中国自己不生产，也不能完全控制别的什么公司不生产，或者是表面上听美国，但是私下会有动作。毕竟这是零部件，砸在自己手里，万一中国人制造出性能相近的芯片来，那自己的芯片就彻底是一堆玻璃渣滓了。