主题：【讨论】发到河里来，让大家看一下这个才叫好帖 -- 狙个梨子
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ASML正式出货的第一台EUV是NXE:3100，时间是2010年。最早的EUV 光刻设备是2006年出的样机ADT，不卖的。
而上世纪末的产品是DUV，ArF准分子激光，波长193nm。
所以，如果说它把DUV笔误成了EUV吧，但它的波长又没说错，EUV的波长确实是13.5nm
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🙂他们认为沈图回国了，葬八宝山了，因此不是叛逃 真离 字374 2023-06-08 19:16:39
🙂你也只是了解了半个 3 达菲 字478 2023-06-06 14:02:40
🙂我的信息来源是正式出版物 12 qq97 字479 2023-06-06 21:54:49
🙂唉，它这个错误我都不知道咋说
🙂EUV光刻机商业化被卡了15年 9 狙个梨子 字867 2023-06-07 03:16:14
🙂文章里的原型机在哪，没看到啊？ 5 达菲 字1336 2023-06-07 05:33:37
🙂国内的EUV有没有到别人1996这个水平暂且不知道 2 狙个梨子 字682 2023-06-07 06:48:28
🙂你这两帖不是前后矛盾么 1 达菲 字343 2023-06-07 08:49:55