五千年(敝帚自珍)

主题:【讨论】发到河里来,让大家看一下这个才叫好帖 -- 狙个梨子

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家园 国内的EUV有没有到别人1996这个水平暂且不知道

如果你仔细看完那篇文章,你就应该可以发现这篇文章已经几乎做完了所有的工序,连晶圆定位系统都给你做好了,不客气的说比上微那套DUV还成熟,拿来卖毫无问题,国内的EUV有没有到这个水平暂且不知道。

至于这台机器长什么样子,去桑迪亚官网搜一下EUVL不就看到了么

https://www.sandia.gov/media/NewsRel/NR2001/euvlight.htm

至于价格我就不知道了,哪怕是现在的互联网,问价格都是一件很困难的事。我想国内头部半导体企业的总工过去问一嘴机子多少钱应该不是太大的事。

不过似乎从1997到2002一共也就花了2.5亿美元....

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