五千年(敝帚自珍)

主题:工业和信息化部官宣:新一代DUV -- dudu8972

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家园 工业和信息化部官宣:新一代DUV

2.1.5氟化氪光刻机晶圆直径:300mm;照明波长:248nm;分辨率≤110nm;套刻≤25nm

2.1.6氟化氩光刻机晶圆直径:300mm;照明波长:193nm;分辨率≤65nm;套刻≤8nm

标题

通宝推:紫梁,南寒,桥上,
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