主题：工业和信息化部官宣：新一代DUV -- dudu8972

2.1.5氟化氪光刻机晶圆直径：300mm；照明波长：248nm；分辨率≤110nm；套刻≤25nm

2.1.6氟化氩光刻机晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm

标题

是指能生产7nm 芯片吗？

套刻精度英文叫Overlay，是当层跟前层的对准精度，跟线宽(英文叫Critical Dimension)不是一回事

EUV

对应着工艺大约是45nm。但是如果用上基于软件的衍射修正，可以到28nm，如果用上多重曝光，最高到14nm也是有可能的。

不过对28nm，一般不会如此大动干戈。

中国目前公布的东西，敌人一定会拆解其中的每一个部件，有可能的话制裁其中的每一个供应商以及供应商的供应商，因此此时公布的光刻机，一定是敌人无可奈何的，挡无可挡的。

两岸猿声啼不住，轻舟已过万重山。

要是能的话，绝大部分工业芯片和几乎所有的国防芯片就自主了吧

陈王河友这话，很是令我想入非非。

项立刚今天的文章说：软件有了，见源有了，工作机台有了，后面的就是水到渠成的问题。深以为然，国产机线正成实用化，超越的路就走了99步了，最后一步，只要走，总结走过去的。

我不在意是28，45，还是90，这个是面子，不是里子。整个系统独立可控的建成，才是里子。

这一段什么意思

我把关键字给标黑了。

就是要求地方政府（财政）金融（银行，证券公司等）科技（大学研究所）以及企业（相关研发企业）共同行动。

这就有点全国一盘棋，两弹一星的味道了。

这也是我一再鼓吹的中国科技的发展需要官产学研一体化。

好消息是：中国政府终于开始在高技术装备领域开始实施官产学研一体化

坏消息是：相关高科技装备显然没有成功，不然就不会出台这个文件了。

都研发成功了，量产了，还要科技，金融，财政协同起来搞，这是干什么呢？马后炮？

还是别胡咧咧了

中国政府部分职责分得很清楚，创新研发的属于科技口。

一旦到了工信系统首台套，那是已经量产，进入推广应用阶段。

首台套的认定需要从市区工信部门开始组织专家考评，现场考核先进性，生产线，样机，以及使用单位的意见。

到了国家层级还需要更高级别的专家考察。

首台套的意思就是进入工业化量产，已经初步进入市场。国家首台套认定后，在相关单位采购招标时，会有额外的加分，这样的话招标会占优势。

另外，一般认定首台套之后，相关政府部门会有其他后补助，省级首台套200万，国家级更高。

你可以怀疑考核专家不专业，但是不必怀疑这套流程的专业性。

这个机器最多能让65到40 白菜化， finfet没法白菜化。

还是得等浸润duv

才能把65做到白菜。另外，8nm的这个Overlay性能，基本上是不能做两重和两重以上曝光的

然后出现一个首台套的词语，你就认为首台套成功了？

根据文件的意思，应该是说为了首台套的成功，各部门该干什么事情是吧？

你完整的看了文件没有？

我把这句话全部拷贝过来并再加点黑体：

为促进首台（套）重大技术装备创新发展和 推广应用 ，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，现将《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》印发给你们，请据此做好相关工作。

感觉你要么读不懂这句简单的话，要么是偏见让你故意忽略加强协同的主语是重大技术装备创新发展和推广应用

或者说你认为只有创新研发才需要加强协同，推广就不需要？

协同推广已投产的设备对后续创新也没有帮助？

还有一点，这文件涉及的设备巨多，光刻机在里面可谓九牛一毛。而且这文件显然也是工信部设备司的年度例行文件.......

就算这文件里的两款光刻机以后被证实不堪用，你再质疑不迟，至少文件本身解读不出你的意思。

你要扣文字，行呀。

《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，“推广应用”四个字你要不查一下字典是什么意思？

难为你老人家还在河里经年不倦的说要给企业多放贷。敢情你是张嘴放贷闭嘴放贷只经嘴不经其他？

这段话你自己不觉得可笑么？懂家。