五千年(敝帚自珍)

主题:工业和信息化部官宣:新一代DUV -- dudu8972

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家园 这个是套刻精度

对应着工艺大约是45nm。但是如果用上基于软件的衍射修正,可以到28nm,如果用上多重曝光,最高到14nm也是有可能的。

不过对28nm,一般不会如此大动干戈。

中国目前公布的东西,敌人一定会拆解其中的每一个部件,有可能的话制裁其中的每一个供应商以及供应商的供应商,因此此时公布的光刻机,一定是敌人无可奈何的,挡无可挡的。

两岸猿声啼不住,轻舟已过万重山。

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